製品情報

6kWFCモジュール

ガス流量制御
アノード H2 0.2~150L/min
カソード Air 0.4~300L/min
アノード / カソード N2 2~100L/min
ガス温度制御
常温~120℃
ガス加湿(露点)制御
20~75℃
背圧制御
105~400kPa(abs)
冷却水制御
温度 40~120℃
(低温始動仕様は-40℃~)
流量 0.1~5L/min
対応負荷電流
1000A
制御精度
ガス温度 露点温度:±1℃
ガス流量 ±5% of RD
冷却水流量 ±0.05L/min
圧力 ±1kPa
応答性(90%応答)
ガス流量 1秒
露点温度 60秒(10℃ステップ)
背圧 30秒(50kPaステップ)