製品情報
6kWFCモジュール
ガス流量制御 | |
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アノード | H2 0.2~150L/min |
カソード | Air 0.4~300L/min |
アノード / カソード | N2 2~100L/min |
ガス温度制御 |
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常温~120℃ |
ガス加湿(露点)制御 |
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20~75℃ |
背圧制御 |
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105~400kPa(abs) |
冷却水制御 | |
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温度 | 40~120℃ (低温始動仕様は-40℃~) |
流量 | 0.1~5L/min |
対応負荷電流 |
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1000A |
制御精度 | |
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ガス温度 | 露点温度:±1℃ |
ガス流量 | ±5% of RD |
冷却水流量 | ±0.05L/min |
圧力 | ±1kPa |
応答性(90%応答) | |
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ガス流量 | 1秒 |
露点温度 | 60秒(10℃ステップ) |
背圧 | 30秒(50kPaステップ) |